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电子行业绿色工厂标准解读之二:半导体集成电

2020-07-18 20:25

  为进一步阐述准则的典型引颈效率,将电子行业绿色工场创修活动引向深刻,正在工业和新闻化部的引导下,中邦电子技巧准则化琢磨院、宇宙绿色工场胀动同盟牵头编制了18项电子行业绿色工场评议准则。本批准则正在进一步昭彰了评议准绳、评议方式、评议目标编制、评议简直央浼、评议次序和评议陈说等合连技巧实质,为电子修筑业绿色工场创修和评议供应了准则凭借。为助助合连企业和机构切实操纵准则,现对部门准则举办解读,供参考模仿。

  晶圆是硅半导体集成电道制制所用的硅晶片,晶圆修筑是半导体集成电道的主要制程,由晶圆进一步修筑的半导体集成电道芯片是通俗操纵于各式电子产物分娩的主要主题元器件。《半导体集成电道修筑业 晶圆 绿色工场评议央浼》(T/CESA 1081-2020)(以下简称“本准则”)法则了半导体集成电道修筑业晶圆绿色工场评议的准绳、方式、目标编制及央浼、次序和陈说等,合用于对分娩8英寸或12英寸的半导体集成电道晶圆产物的工场举办评议,其他类型集成电道产物分娩修筑工场也可参照利用。

  本准则缠绕《绿色工场评议公例》(GB/T 36132)及《电子新闻修筑业绿色工场评议导则》(SJ/T 11744)中法则的根本央浼,以及根基方法、拘束编制、能源资源进入、产物、处境排放、绩效等6个一级目标睁开,充塞探讨晶圆产物修筑业的特色性格,进一步细化了28个二级目标,涉及111个简直央浼。如,晶圆产物分娩厂房打算应知足《硅集成电道芯片工场打算典型》(GB 50809)的央浼,干净厂房打算应知足《电子工业干净厂房打算典型》(GB 50472)的央浼;晶圆产物分娩应遵循工艺选拔淋洗、喷洗、众级逆流漂洗、接收或槽边经管的洗刷方法,不采用单槽洗刷等方法;应装备适宜分娩周围的挥发性有机物经管设备;应应用适宜分娩周围的臭氧层损耗物质消解妨害技巧和设备等。

  为保障评议事业可操作性,本准则对“用地集约化、原料无害化、分娩干净化、废物资源化、能源低碳化”5项绿色工场绩效目标举办细化和分级,将晶圆产物分娩修筑工场的绿色绩效秤谌分为3个级别,并给出差别绩效秤谌对应的目标央浼和评议得分。如,昭彰晶圆修筑业“分娩干净化”对应的“单元产物臭氧层损耗物质形成量”目标央浼,8英寸产物分娩工场目标辨别为≤28.8mg/cm2(1级)、≤51.9mg/cm2(2级)、≤57.5mg/cm2(3级),12英寸产物分娩工场目标辨别为≤23.4mg/cm2(1级)、≤42.1mg/cm2(2级)、≤46.8mg/cm2(3级);“能源低碳化”对应的“单元产物归纳电耗”目标央浼,8英寸产物分娩工场目标辨别为≤0.83kWh/cm2(1级)、≤1.27kWh/cm2(2级)、≤1.72kWh/cm2(3级),12英寸产物分娩工场目标辨别为≤0.66kWh/cm2(1级)、≤1.02kWh/cm2(2级)、≤1.38kWh/cm2(3级)等。

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